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공지사항

No. 5 작성자 관리자 등록일 2007-08-24 조회수 3518
제목 기계공학부 BK21 특별세미나 개최안내 (2007년 8월23일 목요일 오후4시)


기계공학부 BK21 특별세미나를 아래와 같이 개최하오니 교수님들과 대학원생들의 많은 참석을 부탁드립니다.


<BK21 세미나일정>

1. 일시 : 2007년 8월 23 목요일 오후4


2. 장소 : B040호

3. 세미나주제 :
Wafer inspection technology in semiconductor process
 

4. 초청연사 : 
Jeong-Ho Yeo, PhD ( 정호 박사)  Applied Materials

5.
세미나 초록 :
Defect detection on device process is one of challenging application as semiconductor process is shrinking down below 50nm. Half size of process design rule and less than an hour is the requirements of defect detection in general. We will discuss about the history of wafer inspection and evolution of inspection tools in the semiconductor industry. On the other hand, full 3D structure EM simulation work is carrying out to understand and predict the challenging defects. We will discuss few example of simulation work comparison with real experimental data.
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